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我们的解决方案包括用于2D和3D表面的高速自动聚焦系统、电机控制和光电组件。我们的技术用于各种行业，包括半导体、晶片和电子器件的自动光学检测、显示屏幕的缺陷检测和激光修复系统以及生物医学视觉系统。
无论是在基础研究、提高生产效率还是通过直接向终端用户提供解决方案或为OEM供应商提供嵌入式技术，MSG都对其发挥的关键作用感到自豪。
产品经理：程经理 Alex
联系方式：13544211358
邮箱：visec@sz-gmd.com
品牌简介
德国Metrology Sensors GmbH公司为提高显微镜自动化和AOI系统的产量和质量研发和生产最尖端的对焦技术。
我们的解决方案包括用于2D和3D表面的高速自动聚焦系统、电机控制和光电组件。我们的技术用于各种行业，包括半导体、晶片和电子器件的自动光学检测、显示屏幕的缺陷检测和激光修复系统以及生物医学视觉系统。
无论是在基础研究、提高生产效率还是通过直接向终端用户提供解决方案或为OEM供应商提供嵌入式技术，MSG对其发挥的关键作用感到自豪。
产品介绍
LAF传感器设计用于实现光学检测设备和工业显微镜的实时自动对焦和跟踪。该传感器广泛应用于AOI，用于平板显示器、半导体检测、电子检测和生物医学成像。
我们的技术支持对以下内容的专注追踪：
- 无图案表面
- 薄层
- 具有高反射性变化的图案
- 表面最小结构配备高倍放大镜片
技术优势
- 高速、宽工作范围的激光自动聚焦模式。
- 可选Ethernet和RS232通讯，稳定可靠。
- 可选660nm或785nm波长，适应不同应用场合。
- 可与步进、伺服、音圈、压电马达实现闭环控制。
- 可视化UI，具有多种模式组合，可应对复杂应用的自动对焦。
产品系列
LAF5H 激光/图像混合自动对焦系统
- 结合线激光自动对焦和基于图像的跟踪，用于用于工业显微镜和AOI系统。
- 德国MSG图像自动对焦作为真正的跟踪对焦，而不像典型的最佳对比度图像对焦。
- 根据表面自动选择最佳对焦方法得到极其可靠的对焦。
- 适用于LWD计划APO镜头2X-100X，VIS，NIR，NUV，DUV。
- UI界面与软件。
- 通过JavaScript框架实现简单的WebApp风格定制或集成到自己的软件中。
- 步进电机和伺服驱动器的脉冲输出电机控制。
- 电机控制2×大功率隔离LED电源。
- 高对比度变化的图案化表面
- 具有高倍率透镜的最小结构
- 具有不同折射率的材料，如夹层/层状衬底
- 3种不同的运行模式。
- 超高速高工作范围激光自动对焦方式
- 图像自动对焦模式以提高精度
- 混合自动对焦模式，智能选择激光或图像聚焦，优化速度和精度，几乎消除激光坏光斑问题，同时仍能精确跟踪
- 该系统具有完整的Z轴闭环系统与传感器和电机控制。它带有一个软件接口，便于安装，使用和诊断所有必要的传感器和电机参数。
- 易于集成到现有的软件体系结构中。
LAF5高速激光自动对焦和追踪系统
- 激光自动对焦和跟踪系统，用于自动光学检测系统和工业显微镜
- 可选步进/伺服电机控制接口
- 适用于显微镜镜片从低到高放大倍数，VIS，NIR，NUV，DUV
- UI界面与软件库
- 具有高对比度变化的图案化表面
- 具有高倍率透镜的最小结构
- 具有不同折射率的材料如夹层/层状基底
LAF4带模拟量对焦控制信号输出的激光自动对焦系统
- 激光自动对焦和跟踪系统，用于自动光学检测系统和工业显微镜
- 模拟距离信号和对焦质量信号（8～8V）电机驱动控制
- 适用于显微镜镜片从低到高放大倍数，VIS，近红外，NUV，DUV
- UI界面软件库
LAF-C2控制器
- LAF-C2用于LAF自动对焦跟踪系统的步进/伺服电机驱动接口
- 单个连接到LAF传感器，所有从MSG自动对焦到您的机器连接可通过LAF-C2
- 2向脉冲输出电流源步进/伺服驱动的光隔离器
- 质量对焦信号的模拟输出
LAF-C3控制器
- 用于LAF自动对焦跟踪系统的步进/伺服电机驱动接口
- 2x3W隔离LED电源，由用户界面控制
- 单一连接到LAF，所有连接从MSG自动对焦到您的机器都通过LAF-C3
- 适用于稳健I/O的工业设备接口，电源/接地隔离，保护电路
- 供应24-48伏，2X 3W隔离LED电源，如果需要的话
- 2向脉冲输出电流源到电机（步进/伺服）驱动的光隔离器
- 用于测量对焦质量信号的光隔离模拟输出
可选项：
- 模拟输出给出距离信号或未来的可配置速度信号固件发布（控制伺服驱动器）
- 限位开关和安全开关的输入
- 用于传感器与PC机通信的隔离RS232
MSG自动显微镜解决方案
通过我们的集成商网路，德国MSG公司提供一系列定制的自动显微镜解决方案与完全集成的MSG激光或激光/图像混合自动对焦。所有组件都完美匹配在一起，来保证以最低的集成时间达到最高性能。
应用领域
- 用于高精度自动光学检测（AOI）设备。检测高对比度变化的图案化表面如导电粒子、Pattern layer、有图形和无图形晶圆等。
- 适用不同折射率的材料，如夹层，层状衬底等。
- 用于激光修复和精密激光切割设备。
- 高通量生物医疗检测和分析仪器。
自动聚焦显微镜光机
- 可依照客户要求定制。
- 可增加物镜转换器，使之具有多镜头切换功能。
- 可增加光路，搭载多相机。
- 可根据客户需求，选择合适的物镜。德国MSG传感器适用于VIS/NIR/NUV/DUV物镜。
典型客户
常见问题FAQ
Q1：MSG自动聚焦系统是什么？
A：
MSG自动聚焦系统是一套面向AOI设备和工业显微镜的实时聚焦解决方案，主要包括LAF系列激光自动聚焦传感器、LAF-C2及LAF-C3E控制器，以及自动化显微光机模块。
A：
LAF5S用于检测物镜与被测表面之间的焦距变化，并将焦差信号反馈给设备控制系统，实现快速自动聚焦和连续焦面追踪。
Q3：LAF5S可以检测哪些类型的表面？
A：
LAF5S可用于无图案表面、薄层材料、反射率变化较大的图案表面及高倍率物镜下的微小结构。具体选型需结合样品材质、表面特征和物镜参数。
Q4：LAF5S-HB适合哪些应用？
A：
LAF5S-HB主要面向具有多种表面特征的检测对象，例如带线路结构的半导体晶圆，以及LCD、OLED和MicroLED等显示面板。
Q5：LAF5S-ORB是什么类型的产品？
A：
LAF5S-ORB是一款独立式激光自动聚焦传感器，可提供模拟测量输出，适合需要将聚焦测量信号接入现有控制系统的设备集成项目。
Q6：LAF5S-MI适合什么设备？
A：
LAF5S-MI主要用于无限远校正显微镜的自动聚焦升级，可应用于现有工业显微镜改造及自动化显微检测设备集成。
Q7：LAF5S-P有什么特点？
A：
LAF5S-P属于线激光自动聚焦与追踪系统，并配有光学保护滤光方案，适合对光路保护和成像稳定性有相应要求的检测设备。
Q8：LAF-C2与LAF-C3E控制器有什么区别？
A：
LAF-C2主要提供自动聚焦传感器与设备运动系统之间的控制接口；LAF-C3E在此基础上支持以太网通信和LED照明控制。应根据通信方式和设备控制需求选择。
Q9：MSG自动聚焦系统可以连接哪些Z轴驱动方式？
A：
MSG自动聚焦系统可根据控制器及设备配置，与步进电机、伺服电机、压电驱动或音圈驱动配套，实现自动聚焦闭环控制。
Q10：激光自动聚焦与图像自动对焦有什么不同？
A：
激光自动聚焦通过专用传感器检测焦距变化，可在图像采集过程中持续输出焦差信号；图像自动对焦通常依赖图像清晰度计算。实际方案应根据检测速度、样品表面和设备结构确定。
Q11：半导体AOI设备如何集成MSG自动聚焦系统？
A：
集成时需要确定物镜倍率、光路结构、Z轴驱动、控制接口、样品表面及工作范围，再配置自动聚焦传感器、控制器和光机组件。
Q12：选择MSG自动聚焦产品需要提供哪些参数？
A：
建议提供检测对象、表面材质、物镜品牌与倍率、相机接口、工作距离、Z轴类型、聚焦范围、检测速度及通信方式，以便进行产品选型和集成评估。
Q13：MSG自动聚焦光机模块是否支持方案适配？
A：
光机方案可根据相机接口、物镜配置、照明方式、Z轴行程和安装空间进行适配评估。具体结构和配置以项目技术确认结果为准。
Q14：可以获得哪些选型与集成支持？
A：
可根据项目需求提供产品资料、型号建议、接口说明、光机配置建议及系统集成支持。项目报价和交付内容以双方最终确认的方案为准。