品牌介绍

• 发展历程：PRECITEC 公司于 1971 年在德国巴登巴登建立，最初是一家小型工程办公室，经过多年发展，现已成为一家全球性的激光技术和 3D 测量技术运营公司。
• 企业地位：PRECITEC 是激光技术和光学计量领域组件和系统解决方案开发和制造的全球创新和市场领导者，在国际市场上活跃了数十年，通过子公司在全球 22 个国家和地区设有子公司和代表处，与重要市场的客户保持密切联系。
• 经营理念：创新、以客户为中心、CAN-DO 态度、团队精神和社会责任构成了其作为可靠和长期业务合作伙伴的核心支柱，注重可持续和独立发展。

产品介绍

1、点传感器

• CHRocodile2S：新的 CHRocodile2 系列传感器，配置了自动光源控制装置，集成高性能电子器件、高速以太网接口、高强度白光 LED 和高灵敏度的探测器，可实现最高 66kHz 的测量速度，能以极高的精度和复现性完成非接触式的距离、形貌和厚度测试，可胜任对复杂几何形状以及具有不同反射率、粗糙度和折射率材料的测量任务，针对最小厚度 50μm 的薄膜，可使用其光谱共焦波段进行测量。

• CHRocodile2SH：该传感器可在光谱共焦和干涉模式下轻松切换，以此来实现诸如透明塑料和多层膜等更多的测量可能性，针对 2μm-120μm 的透明薄膜，可使用白光干涉波段进行测量。
• CHRocodile2ITH：高精度同轴干涉点传感器，可以实现距离和厚度的非接触式测量，测量范围高达 12,600μm，纳米级别的分辨率使其适用于在诸如晶圆这样的微结构上的测量，可为粗糙、掺杂和高掺杂的晶圆，半透明和不透明的塑料，玻璃，涂层和粘结剂等红外透明材料提供质量监控，针对最低 1.5μm 的半透明或多层薄膜，可使用红外干涉波段进行测量。

      Precitec EnovaSense 激光光热传感器可对任何类型的涂层和基材材料进行精确而稳定的厚度测量，包括扩散涂层或反射涂层、平面涂层或曲面涂层、粗糙涂层或抛光涂层等，以及任何表面，如镜面、未加工金属面、陶瓷或粘合剂表面。可测量的厚度范围从纳米到毫米，且多年来保持亚微米级测量稳定性。在半导体行业，可对各个工艺制程中的单层或多层不透明的薄膜厚度进行检测，如典型的硬掩膜 TiN 或 TaN，还可实现低于 0.5% 无定形碳上的硬掩膜厚度的重复性，也可以测量大约 50μm 的 Ag 和 Ni 层、非常薄的约 50nm 的 Cu 或 Sn 层，以及沉积在半导体元件后端的环氧树脂或聚合物包装涂层、核心半导体和电介质层如 SiC、氧化物、SOI 层等。

3、飞点扫描仪：

      超快速飞点扫描仪（FSS）310，用于在更短的周期内对半导体晶圆进行弯曲度、翘曲度、TTV（总厚度变化）和质量检测。其特点包括灵活高效的扫描轨迹、测量 12 英寸晶圆的能力以及纳米范围内的 Z 分辨率。该扫描仪将 OCT 与宽视场扫描相结合，在宽视场内灵活且快速移动的测量点可实现非接触式的 ROI（感兴趣区域）检测，大大缩短了周期时间，且不影响精度，扫描区域为 310mm，可测量整个 12 英寸晶圆的 TTV、弯曲和翘曲，并在单次扫描中检测任何空隙，对于标准应用，每个晶圆只需 10 秒即可完成，可实现每小时超过 300 个晶圆的吞吐量，当与 Precitec CHRocodile 2 IT 系列的设备结合使用时，其完全可变扫描轨迹能够测量例如硅、掺杂硅、砷化镓和碳化硅晶圆的厚度和距离，还可以测量半导体元件涂层的厚度，以及在进一步加工之前测量晶圆上单个芯片的弯曲度。