美国Semiconsoft.Inc公司成立于2001年，其使命是使薄膜厚度测量和n&k的数据分析对用户来说变得简单透明。TFCompanion 软件使工程师能够导入椭圆偏振仪、反射率、透射率和成像椭圆偏振仪数据并快速分析。

TFCompanion 是唯一支持从各种薄膜测量系统导入测量数据的软件。对数据的一致分析有助于系统鉴定。它还有助于确定哪种系统配置最适合特定应用程序。TFCompanion 成为薄膜测量软件的事实标准。

美国Semisonsoft公司MProbe系列薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃级分辨率，非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中，比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层，触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。

测量原理：当指定波长范围的光照射到薄膜上时，从不同界面上反射的光相位不同，从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。

产品介绍

MProbe膜厚测量仪操作简单，只需一键操作即可获得样品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚测量设备可支持不同光谱范围，光谱范围可达200-1700nm，因此可测量厚度范围可从1nm到2mm。 设备中无移动组件，所以测量结果几乎是即时得到的；TFCompanion测量软件使得测量过程非常简单且透明，测量历史、动态测量、模拟、颜色分析、直接在样品图像上显示结果。

产品系列：

1	单点膜厚测量——MPROBE-20
2	单点手持膜厚测量——MPROBE HC
3	聚焦光斑膜厚测量仪——MPROBE 40
4	原位测量膜厚测量仪——MPROBE 50 INSITU
5	支持Mapping的聚焦膜厚测量仪——MPROBE 60
6	在线膜厚测量仪——MProbe 70

Mprobe 20-单点薄膜测量仪

MProbe 20是一款桌面式单点薄膜厚度测量系统，只需点击鼠标就可进行薄膜厚度和折射率测量，测量厚度范围1nm-1mm。MProbe 20可对多层膜层进行测量。

不同的MProbe 20主要由灯源的波长范围、光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这也决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。

MProbe 20基于光谱反射率测量，具有快速、可靠、无损等特点

配置：

1. 控制器(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
2. SH200A样品台，带对焦镜头，可微调
3. 光导纤维反射探头
4. TFCompanion -RA软件、USB适配器(授权密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
5. 根据型号和黑色吸收体的不同，校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
6. 测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜，视型号而定
7. USB或LAN线(用于连接主机和PC)
8. 24VDC电源适配器(110/220V)

选型列表：

MProbe 20 HC（弯曲表面）-手持式膜厚测量仪

测量特点：

1. 支持底漆或界面 (IPL) 层
2. 曲面和/或大型零件的厚度测量
3. 可以测量有色产品，校正背面反射
4. 材料：500多种扩展材料数据库
5. 一键可靠测量

规格指标：

MPROBE 40 MSP-微小区域薄膜厚度测量仪

规格指标：

MPROBE 50 INSTE – 实时厚度监测仪

用于测量薄膜厚度和 n&k（光学常数）的原位实时光学厚度监测器。该系统可以在高环境光环境下工作，因为它使用的是门控数据采集。 在宽带 （UV-NIR） 波长范围内进行精确测量时，可使用高强度闪光灯 Xe 灯。
MProbe 50 系统是完全可定制的，以支持不同的真空室几何形状。根据可用的光学端口，可以使用斜入射或法向入射。光可以聚焦在样品表面或准直。 反射探头可以放置在沉积室光学端口外部或内部（使用光纤馈通）。
MProbe 50 系统没有活动部件。典型测量时间 ~ 10ms。 可以快速可靠地测量任何半透明薄膜。

测量特点： 

1. 原位薄膜厚度和 n&k 测量
2. 用于在高环境光环境下进行测量的选通数据采集
3. 材料： 500+ 扩展材料数据库
4. 连续、快速、可靠的测量
5. 灵活的配置 – 完全定制以匹配储藏室的几何形状

MPROBE 60 薄膜测量系统（小光斑和映射）

MProbe 60是一个完整的交钥匙系统，专为研发中心和小型制造而设计。它将测量厚度/n&k的能力与映射自动化和小点测量相结合。MProbe 60被全球领先的研发/纳米技术中心使用。可以快速可靠地测量 1nm – 2mm 的厚度，包括多层薄膜堆栈。不同的 MProbe 40 型号主要受光谱仪的波长范围和分辨率的影响，而光谱仪的波长范围和分辨率又决定了可以测量的厚度范围。

测量特点：

1. 具有灵活和模块化的分布验证自动化的交钥匙系统
2. 精度：无与伦比的精度 <0.01nm 或 0.01%
3. 材料： 500+ 扩展材料数据库
4. 软件：用户友好且功能丰富的 TFCompanion 软件甚至可以处理最复杂的应用程序。层数没有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗淡度等等。集成的摄像头和成像软件允许精确定位测量位置并直接在图像上显示结果
5. 经济实惠：无与伦比的性价比

1. 主机（包括光谱仪、光源）
2. 带有电动测绘台和控制器的坚固平台
3. z 轴电动载物台上的显微镜管或带标准镜头的支架（取决于配置）
4. 光纤反射探头
5. TFCompanion -RA 软件、USB 加密狗（许可证密钥）、带软件分发的 USB 记忆棒、用户指南和其他资料
6. 校准集（裸硅晶片和/或石英板和/或铝镜），具体取决于型号和黑色吸收器
7. 测试样品 200nm 氧化硅或 PET 薄膜，具体取决于型号
8. USB 电缆和 24VDC 电源适配器 （110/220V）

规格指标：

MPROBE 70-在线薄膜厚度实时测量仪

MPROBE 70-在线薄膜厚度实时测量仪是一种高性能厚度测量系统。在线薄膜厚度实时测量仪-MPROBE 70基于光谱反射率和/或透射率测量，专为产线的连续测量而设计。一些示例包括卷对卷生产中的卷材测量（薄膜和涂层的厚度）、建筑玻璃生产（反射率、透射率和颜色坐标）、轧制金属板（油或涂层厚度）等等。我们的厚度测量系统有效地测量薄膜和厚片，具有多层分辨力；透明、彩色和有色薄膜；有机或水性涂料和粘合剂。在线薄膜厚度实时测量仪-MPROBE 70与其他聚合物（如 PR、PP 和离聚物）同时测量阻隔膜（如尼龙、EVOH 或 PVD）的厚度。聚合物、玻璃、金属、塑料、半导体和其他无孔材料上的涂层厚度。

配置：

1. 与PC或PLC集成
2. TCP-IP (1Gb) 快速可靠的通信
3. 针对应用需求定制的系统配置
4. 不同型号取决于波长、厚度范围和测量速度
5. 固件嵌入式数据分析选件（内置 TFC）可实现超快速测量
6. 在指定波长范围内测量反射和/或透射光谱
7. 可选参数测量

应用领域

1. 汽车零部件涂层
2. 光刻胶
3. 医疗注射器
4. 医疗支架
5. 医疗球囊导管
6. 医疗水凝胶膜厚
7. 丙烯酸涂层
8. 聚酯涂层
9. PCBA涂层
10. 聚对二甲苯涂层
11. LED异质结构
12. OLED厚度
13. 氧化物厚度和色散