品牌介绍

Ecopia公司是半导体测试设备的领先公司之一，生产“霍尔效应测量系统”探针站”、“RTA(或RTP)“LED测试仪”、“机械手”等。而且，这些设备基本上用于测试半导体芯片的电气、热学和光学特性。

产品介绍

韩国Ecopia霍尔效应测量系统主要用于研究半导体材料/光电材料的电学特性，可以测量材料在不同温度、磁场下的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数及载流子类型。

Ecopia 的 HMS 系列由恒流源、Van der Pauw 技术端子转换系统、低温 （77K） 测试系统和磁通密度输入系统组成。因此，它是一个成熟的系统，具有霍尔效应测量系统所需的一切。

产品优势

1、 可靠的精度及重现性

恒电流源(1nA~20mA)采用六级电流范围设置，将可以接收的误差降到最低；范德堡法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声；软硬件有针对性的设计，确保每个实验数据均为多次测试的平均值，使仪器拥有非常好的数据重现性。

2、 产品小型化及操作简单化

小尺寸的磁场强度输入系统使用永磁体 0.51T 和液氮低温测量系统(77K)，确保仪器操作非常简单；两种不同尺寸的传统样品板(20*20mm、5*5mm)及带弹簧夹片的样品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量，区别于传统样品板的弹簧夹片样品板使得霍尔电极制作更方便且对样品损伤更小。

3、 I-V 曲线及 I-R 曲线测量

采用图表的方式，测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压及电流-电阻关系，并以此评判样品的欧姆接触好坏、了解样品的基本的电学特性。

4、 多样的实验结果

实 验 结 果 由 软 件 自 动 计 算 得 到 ， 可 同 时 得 到 体 载 流 子 浓 度 (Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、 电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、 电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等以及随温度变化曲线。

型号与技术规格

样品固定方式：弹簧探针或引线治具
温度：70~730K；80~580K；70~580K；80~730K；室温~730K（可选）
磁场：5000Gauss永磁铁，5000Gauss电磁场， 1.4T电磁场（可选）
温度稳定度：<=0.05K
温度响应：1K/sec
致冷片：10X14 mm
电阻率：10-6~1013 Ohm*cm
载流子迁移率：10-2~109 cm2/volt*sec
载流子浓度：102~1022cm-3
电流范围：0.1 pA~10mA
电压范围：+/-2.5V，最小可测到6X10-6 V
电阻范围：10 m Ohms~ 10G Ohms
常用型号：HMS3000， HMS5000

HMS-3000

HMS-5000

应用领域

1、半导体材料研究：用于半导体材料的电学特性研究，帮助研究人员了解半导体材料的载流子浓度、迁移率等参数，对于半导体器件的设计、制造和性能优化具有重要意义。可测量 Si、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN 等多种半导体材料27。

2、光电材料研究：在光电材料领域，可分析材料的光电性能，如通过光霍尔效应测量研究材料的载流子浓度、迁移率等参数随光源强度的变化，为光电材料的研发和应用提供数据支持10。

3、高校科研教学：是高校物理、材料科学等相关专业科研和教学的重要工具，帮助师生进行实验教学和科学研究，培养学生的实验技能和科研能力

4、电子器件制造：在电子器件制造过程中，可用于对晶圆等电子器件的电学性能进行检测和质量控制，确保器件的性能符合要求3。

5、材料科学研究：用于研究各种材料的磁学和电学特性，为材料科学的研究提供重要的实验数据和技术支持。